MEMS 探针是半导体测试中连通芯片和测试机进行信号传输的核心零部件，测试探针市场可大致细分为半导体测试探针、PCB测试探针、ICT测试探针等，其中半导体测试探针技术难度较高，不仅是尺寸更加细微，实际测试中有短路的风险。以下百腾小编就来简单分享：派瑞林镀膜工艺如何助力提升MEMS探针表层绝缘防护应用？

MEMS探针产品测试要求

MEMS探针，由于产品pitch很小，所以探针和探针之间隔离间隙也越来越小，MEMS探针在下压过程中会产生弯曲，但是相邻的2个探针的弯曲形态可能并不是完整一样的，所以实际测试中有短路的风险。

派瑞林CVD工艺提升MEMS探针表层绝缘涂层的制备方法

第一、将MEMS探针针头和针尾做好镀膜屏蔽工作。为了让MEMS探针的中间区域生长纳米绝缘涂层，确保有效防止相邻探针接触短路的风险；

第二、将局部屏蔽好的MEMS探针放置在真空纳米涂层设备的沉积室内等待镀层；

第三、将粉末状的纳米原材料放入真空纳米涂层设备的蒸发室；

第四、纳米原材料在蒸发室内蒸发为气态分子，气态分子并进入裂解室；

第五、气态分子在裂解室内裂解为反应活性的单体，反应活性的单体在沉积室聚合并在MEMS探针表面形成一层致密无孔的纳米镀膜，使其纳米镀膜的厚度为1-5微米，确保绝缘性且厚度薄。

派瑞林镀膜技术在传感器领域应用特点

Parylene薄膜具有柔韧的特性,而且有较好的机械特性、低成本、易制作等优点。Parylene以其优良的电性能已经广泛应用在微电子产业和医疗产业中。Parylene是在真空气相沉积工艺下沉积而成,透明且具有良好的机械强度,材料无应力,与集成电路制造工艺相兼容,同时具有很好的生物相容性。随着MEMS技术的进一步发展,Parylene镀膜工艺以其特有的优点越来越受到MEMS领域的青睐。

综上所述，经Parylene涂敷后的MEMS探针产品具有极高的绝缘强度和耐酸碱等作用，通过派瑞林镀膜技术更好地提升MEMS探针产品性能，助力MEMS产品具有更好的市场竞争力。

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