派瑞林涂层工艺采用独特的真空气相沉积工艺制备，在真空条件下活性小分子在基材表面“生长“出敷形的聚合物薄膜涂层，派瑞林真空气相沉积工艺：升华、热解、沉积和聚合、收集。

一、升华

在该方法的第一步中，加热称为二聚体的粉末状原料。当温度接近150摄氏度时，二聚体升华成气体而不通过液态。此时，二聚体气体准备好进入沉积过程的下一阶段。

二、热解

二聚体气体实际上由两个粘合在一起的聚对二甲苯分子组成。在热解阶段，将气体在炉中进一步加热至高达700摄氏度的温度。热量将分子分开 - 形成单体。当单体蒸汽在沉积阶段到达待涂覆的物品时，该单体蒸汽成为派瑞林（即聚对二甲苯）保形涂层。

三、沉积和聚合

保持待涂物品的容器减压以产生真空。该真空将聚对二甲苯气体从热解室吸出并进入沉积室。在保持在正常室温下的那个室中，派瑞林（即聚对二甲苯）蒸汽变成聚合物，涂覆它接触的所有物质。在沉积过程中，派瑞林（即聚对二甲苯）气体冷却而对被涂物品没有任何有意义的加热效果超过几度。

四、收集多余涂层物质

将派瑞林（即聚对二甲苯）气体拉过沉积室的真空泵在处理废气中也起着重要作用。当气体离开腔室时，泵通过冷阱将其拉出。通常冷却到极端零下温度收集多余的聚对二甲苯固化，从而可以将其处理掉。