派瑞林镀膜技术在MEMS的纳米镀膜应用有哪些？首先何为MEMS？MEMS的全称为Micro-ElectroMechanicalSystem，即“微机械机电系统”，由于MEMS器件的尺寸可以做在几毫米乃至更小的传感器装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，因此，对于镀膜防护的要求也会更加严苛。

本期，百腾小编就来简单介绍派瑞林镀膜技术在MEMS领域的纳米镀膜应用。

MEMS微机电系统优势

MEMS微机电系统，例如目前应用于主流的半导体行业，采用微米技术在芯片上制造微型机械，并将其与对应电路集成为一个整体的技术，该技术是在传统的半导体制造技术为基础发展起来的，随着消费类电子市场需求量的不断攀升，市场对核心电子器件MEMS具有较大的需求量。

MEMS器件市场应用领域

MEMS器件涵盖射频MEMS、压力传感器、麦克风、加速度计、陀螺仪、惯性组合等诸多产品类型，广泛应用于消费电子、汽车、工业、医疗、通信等场景。

1.惯性传感器：加速度器和陀螺仪。比如无人机，虚拟现实和体感输入（智能手机、PS手柄等），汽车安全气囊和ABS防抱死系统；

2.喷墨打印机。压电喷墨头，MEMS产品应用于打印机的热驱动；

3.投影仪DLP芯片。目前全世界大于90%的投影仪当中都会用到MEMS产品；

4.压力传感器。MEMS产品用于GPS、登山手表和智能手机上；

5.麦克风。MEMS的麦克风也是近几年才取代了过去磁感线圈式的麦克风。MEMS麦克风已经基本替换了大部分手机中的传统麦克风。即多孔位的压力传感器。

派瑞林镀膜技术在MEMS的纳米镀膜应用

派瑞林（Parylene）

派瑞林（Parylene）是一种对二甲苯的聚合物,早期由MichaelMojzeszSwarc在1947年发现,1965年Wil2liamFGorham发展了一种可行的聚合物沉积系统之后,由美国UnionCarbide公司商业化的一种新的敷形涂层材料。派派瑞林（Parylene）薄膜是一种无支链、高结晶、分子量超过50万的聚合物。根据分子结构的不同,派瑞林（Parylene）可分为N、C、D、F、AF4型等多种类型,主要区别在于分子上取代基不同,分子式的不同也决定了其热稳定性能和绝缘性能等有所不同,派瑞林（Parylene）的几种材料。其中,C型聚对二甲苯(Parylene C)薄膜涂层是目前使用较广泛的一种。派瑞林（Parylene）薄膜具有防潮、绝缘、耐腐蚀、生物相容性、无针孔涂层、良好的机械性能和热稳定性,广泛应用在航空、航天、军工、微电子、半导体、医疗、文物保护等领域。

派瑞林（Parylene）化学气相沉积工艺(CVD)

派瑞林（Parylene）的制备采用化学气相沉积工艺(CVD),其原料是对二甲苯环二聚体(不同类型的Parylene对应不同取代基的对二甲苯环二聚体原料)。制备的沉积过程大体可分为三步:首先在真空,150℃-180℃下将固态原料升华成气态;二聚体气体进入裂解腔,在680℃-700℃下,二聚体的分子键被断开,裂解成具有反应活性的单体;在室温的真空沉积室里,派瑞林（Parylene）气态单体在器件的表面上沉积并聚合成均匀无针孔的防护涂层。

派瑞林镀膜技术在MEMS的纳米镀膜应用

派瑞林（Parylene）作为可植入材料,主要是由于材料本身良好的生物相容性。生物体内复杂的体液环境,会腐蚀大多数的MEMS和微电子材料,然而却不会影响Parylene,这是由于Parylene不会在体液环境下被水降解。

派瑞林（Parylene）作为植入微电极阵列和微器件的包装材料,实验报道具有很好的生物性容性和生物稳定性,能够长期植入生物体中,此外,由于其良好的防渗透性,能够很好地保护微器件不被腐蚀。Parylene以其优异的生物相容性(美国FDA-VI级认证)和生物稳定性,作为体内长期植入使用的生物医用材料,已经被用于心脏起搏器、脑电极、植入式传感器和高频手术刀等微型电子医疗器械和可植入微系统中。

派瑞林（Parylene）由于其优异的性能,逐渐成为MEMS领域青睐的聚合物材料。Parylene通过CVD在室温下制备,材料具有无应力、无针孔覆盖和良好的生物相容性等优异的特性。本期主要介绍了派瑞林镀膜技术在MEMS的纳米镀膜应用。

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