传统气压传感器使用的树脂封装可能会因贴装过程中产生的应力而导致性能变化。相比之下，百腾科技采用派瑞林(Parylene)镀膜防护封装技术，可较大限度地减少应力引起的性能波动。这消除了采用树脂封装的传感器贴装时的布局限制，有助于提高系统设计的灵活性。

用途：经Parylene涂敷后的产品具有极高的绝缘强度和耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防潮、防锈、透明、防水、抗老化、生物相容性等作用

适用范围：航空航天、电路板、磁性材料、传感器等领域

派瑞林镀膜技术在MEMS气压传感器领域应用特点

Parylene薄膜具有柔韧的特性, 而且有较好的机械特性、低成本、易制作等优点。Parylene以其优良的电性能已经广泛应用在微电子产业和医疗产业中。Parylene是在真空气相沉积工艺下沉积而成, 透明且具有良好的机械强度, 材料无应力,与集成电路制造工艺相兼容, 同时具有很好的生物相容性。随着MEMS技术的进一步发展,Parylene镀膜工艺以其特有的优点越来越受到MEMS领域的青睐, 应用到从微结构到集成微流体系统中。同时, 微传感器(MEMS)的发展要求使用生物相容性的材料,这更促进了Parylene在可植入微系统等微传感器(MEMS)上的应用。