镀膜涂层加工领域 百腾在Parylene等特殊涂层领域具有强大的开发创新能力,拥有成熟稳定的生产工艺以及面向全球的市场运营能力
派瑞林(Parylene)真空镀膜技术在微电子、半导体行业中的应用
发布时间:2020-12-29 23:24:00 点击次数:1573

派瑞林(Parylene)由于其优异的性能, 逐渐成为微电子领域青睐的聚合物材料。Parylene通过CVD在室温下制备, 材料具有无应力、无针孔覆盖和良好的生物相容性等优异的特性。以下就有百腾小编为百腾的新老朋友们简单介绍:派瑞林(Parylene)应用于微电子、半导体行业的产品防护应用。

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派瑞林(Parylene)在微电子领域,近些年Parylene应用发展较快,真空气相沉积制备的Parylene不仅可制精细尺寸的涂层,而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外,在微米以下超大规模集成电路制作中,还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料,特别是氟代Parylene,更被国外集成电路研究者所青睐,用作多层集成超大规模集成电路的层间绝缘介质。

 

派瑞林(Parylene)是一种具有优异性能的敷形涂层材料,问世后首先在电子领域得到了应用。1972年列入美军标46058C允许作为军用印刷电路板的敷形涂层材料,涂层厚度为0.0005-0.002英寸。

 

派瑞林(Parylene)气相沉积涂敷工艺涂敷时,在工作上有很强的渗透性,能渗透到SMT贴片工件的底部和工作表面疏松的毛细孔中,真正形成完全敷形,均匀一致的防护涂层。Parylene气相沉积涂敷工艺没有溶剂、助剂,即使在0.1微米厚也没有针孔,气态小分子在工作表面直接聚合成固态的涂层薄膜,没有通常涂层的固化过程和固化引起的收缩应力,对工件能进行表面加固,但不会引起伤害,也没有因表面张力而引起的涂层弯月面状不均匀。

 

派瑞林(Parylene)材料本身有很优异的物理机械性能和电性能,不仅机械强度好,摩擦系数低,水汽透过率低,而且介电强度高,绝缘电阻高;介质损耗和介电常数也比较低,作为防护涂层它能覆盖从工频到10GHZ以上频率段电路使用。

 

作为电子电路的防护涂层,派瑞林(Parylene)又称为派拉伦,它不需另加防霉剂,本身防霉能达零级。在盐雾实验中,与其它涂层相比,派拉伦防护的电路电阻几乎不下降,其它涂层则都有较大的下降。很薄的派拉伦涂层能提供优异的防护性能,还有利于电路板工作热量的消散,因此作为防护涂层派拉伦能使电路具有更高的可靠性,特别是小型高密集度电子电路的防护,派拉伦更显示出其独到的优势。

 

派拉伦(Parylene)应用于微电子、半导体领域之优点

第一、Parylene能进行微米级微细制作和加工;

第二、Parylene与其它微细结构材料有很好的相容性;

第三、Parylene在微细结构中仍具有优良的电性能和物理机械性能;

第四、Parylene对微电子机械系统的使用环境有很好的相容性和防护性。

 

以上为派拉伦(Parylene)产品在电子行业、半导体行业的涂敷防护应用,提升电子产品的更高性价比,更好的提升了电子行业及半导体行业产品的市场竞争力。

 

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