镀膜涂层加工领域 百腾在Parylene等特殊涂层领域具有强大的开发创新能力,拥有成熟稳定的生产工艺以及面向全球的市场运营能力
MEMS微电子产品Parylene纳米镀膜技术应用
发布时间:2022-01-06 14:21:04 点击次数:1036

MEMS(全称Micro Electromechanical System),即微机电系统,是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统,是一个独立的智能系统,可大批量生产,其系统尺寸在几毫米乃至更小,其内部结构一般在微米甚至纳米量级。对于高精尖技术的MEMS传感器产品而言,产品上的元器件线路和元器件对于外界环境较为敏感;派瑞林(Parylene)膜层在恶劣环境和高低温环境下,Parylene纳米镀膜技术如何更好的为MEMS微电子产品提升镀膜应用?

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Parylene纳米镀膜技术在MEMS及半导体产品上的应用

Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。

 

Parylene能在0.2um厚时就完全没有针孔,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。

 

Parylene纳米镀膜技术在LED产品上的应用

LED显示屏和灯条广泛应用于交通道路、户外广场、机场等潮湿恶劣环境中,势必要对LED产品的防护等级有了更高的要求。派瑞林涂层与传统的灌胶方式相比,膜层更薄且均匀、散热性更好、不易龟裂、符合国际环保要求、且可达到国际规范的IP55-IP68的防尘防水要求,因此近年来派瑞林涂层广泛应用于LED产品的防护上,使其具有更好的防潮、防水、耐酸碱、耐腐蚀等功能。

 

Parylene纳米镀膜技术利用化学气相沉积工艺(CVD)。CVD工艺应用于半导体工业的外延生产,整个过程是气态反应,又在真空条件下进行,因而可以获得非常均匀的涂层,达到其它方法难以实现的同形性。过程主要有三步:

1.真空150左右条件下,固态派瑞林材料升华成气态。

2.真空680左右条件下,将气态双裂解成活性单体。

3.真空常温下,气态单体在基体上生长聚合。

 

Parylene纳米镀膜技术在电路板上的应用

随着印制电路组件日益向小型化和高密度方向发展,给印制电路组件的三防措施提出了新的要求。存在于传统三防之中的涂层厚且不均、棱角处涂层较薄、介电强度不够、有针孔和气泡等弊端尤为突出。

 

Parylene涂敷属于气相沉积的过程,气态的小分子能渗透到元器件的细小缝隙,均匀的形成一层无针孔无气泡的防护膜,更好的起到防潮、防水、耐腐蚀的效果。

 

另外,Parylene涂层厚度较薄(通常为25um),对电路板表面绝缘电阻影响不大,且对元器件工作时所产生的热量消散也非常有利。另外由于分子结构对称性较好,使它在较高的频率下仍有较小的介质损耗和介电常数,它的这种高频低损耗特性使它为高频微波电路的可靠防护创造了条件。

 

综上所述,MEMS微电子产品通过Parylene真空气相镀膜技术更好的提升产品防护性能,有效提升产品市场竞争力。

 

百腾Penta精耕镀膜行业近30年,我们将会持续为大家提供Parylene真空气相镀膜技术行业资讯和相关问题解答,百腾Penta开发的PVD真空镀膜机,CVD真空镀膜机,XeF2二氟化氙蚀刻机,真空脱气炉,二氟化氙材料、派瑞林材料,提供派瑞林(Parylene)纳米涂层加工。并可根据不同需求设计定制派瑞林真空镀膜设备和与其配套的相关设备系统,帮助企业产品提升更好防护品质。


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