派瑞林（Parylene）是一种聚对二甲苯的聚合物。用独特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层。派瑞林膜层具有均匀性、无针孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，具有防潮、防霉、防盐雾涂层材料。百腾小编分享：派瑞林镀膜设备及应用知多少？

一、派瑞林CVD化学气相沉积工艺

派瑞林（Parylene）采用的是派瑞林CVD化学气相沉积工艺。即派瑞林（Parylene）原料在真空下裂解聚合成气态分子，并沉积于产品表面，形成一层致密无针孔的纳米膜层，更好的保护产品。该技术广泛应用于航空航天、半导体、电子医疗等产品镀膜防护领域。

派瑞林化学气相沉积工艺是将原料放入真空纳米涂层设备的蒸发室，通过气相反应沉积出固态物质，因此把派瑞林CVD技术用于无机合成和材料制备时具有以下特点：

1）沉积反应如在气固界面上发生则沉积物将按照原有固态基底（又称衬底）的形状包覆一层薄膜。

2）涂层的化学成分可以随气相组成的改变而改变从而获得梯度沉积物或得到混合镀层。

3）采用某种基底材料，沉积物达到一定厚度以后又容易与基底分离，这样就可以得到各种特定形状的游离沉积物器具。

4）在CVD技术中也可以沉积生成晶体或细粉状物质，或者使沉积反应发生在气相中而不是在基底表面上，这样得到的无机合成物质可以是很细的粉末，甚至是纳米尺度的微粒称为纳米超细粉末。

5）CVD工艺是在较低压力和温度下进行的，通过派瑞林镀膜技术可增强材料断裂强度和抗震性能是在较低压力和温度下进行的。

二、派瑞林镀膜应用

1、派瑞林（Parylene）磁性材料应用

随着信息产业的不断发展，磁性元件越来越趋向于小型化，3-5㎜的软磁芯，2-3㎜的稀土永磁材料，甚至尺寸更小的磁材都不断被应用，对磁材的防护提出了新的要求。小型软磁芯作饶线器件时，经聚对二甲苯涂敷后能耐1500-2000V甚至更高的电压，由于聚对二甲苯摩擦系数低，磁材表面更滑溜，不伤线，更便于操作，稀土钕铁硼永磁材料是一种高性能强磁材料，但这种材料在空气中很不稳定，尺寸较大的通常用电镀或环氧电泳漆作防护涂层，尺寸较小的磁材，特别是环型和筒形的磁材，已不能用上述传统方法实现可靠防护，满足使用要求。派瑞林（Parylene）独特的制备工艺和优异性能相结合，使它能对小型超小型磁材进行无薄弱点全涂敷的磁材可浸盐酸10天以上不腐蚀，目前国际上小型超小型磁材，几乎都采用派瑞林（Parylene）作绝缘和防护涂层。

2、派瑞林（Parylene）印制电路组件和元器件应用

随着表面贴装技术发展和元器件的日益小型化，印制电路组件也日益向小型化和高密度方向发展，这给印制电路组件的三防措施提出了新的要求。派瑞林（Parylene）涂敷是由活性的对二甲苯双游离基小分子气在印制电路组件表面沉积聚合完成。气态的小分子能渗透到包括贴装件下面任何一个细小缝隙的基材上沉积，形成分子量约50万的高纯聚合物。它没有助剂溶剂等小分子，不会对基材形成伤害，厚度均匀的防护层和优异的性能相结合，使派瑞林（Parylene）涂层仅需0.02-0.05㎜就能对印制电路组件的表面提供非常可靠的防护，甚至经过盐雾试验，表面绝缘电阻也不会有很大改变，而且较薄的涂层对元器件工作时所产生的热量消散也非常有利。另外由于分子结构对称性较好，使它在较高的频率下仍有较小的介质损耗和介电常数，它的这种高频低损耗特性使它为高频微波电路的可靠防护创造了条件。

3、派瑞林（Parylene）微电子集成电路应用

派瑞林（Parylene）的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备的派瑞林（Parylene）涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此派瑞林（Parylene）不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经派瑞林（Parylene）涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。

4、派瑞林（Parylene）微电子机械系统（MEMS）应用

派瑞林（Parylene）能在0.2um厚时就完全没有针孔，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。

5、派瑞林（Parylene）传感器应用

派瑞林（Parylene）在传感器领域中的应用，除了作绝缘介质外，更多用作防护材料，它能耐酸、碱和有机溶剂，对水汽和盐雾等恶劣环境有极好的阻隔防护能力，用极薄的涂层提供良好的防护。

6、派瑞林（Parylene）生物医用电子应用

派瑞林（Parylene）不仅电性能，防护性能好，而且生物相溶性也好，它已通过美国FDA论证，满足美国药典生物医用材料VI类标准，被列为是一种可以在体内长期植入使用的生物医用材料。

7、派瑞林（Parylene）光纤光缆接头密封件应用

光纤光缆接头在使用中可能遇到各种不同的环境，通常使用含有硅橡胶密封圈的接头使光缆与环境相隔离，经派瑞林（Parylene）涂敷后的硅橡胶密封圈，能更好的适应各种恶劣环境，防止硅橡胶老化，延长密封圈的寿命。

综上所述：经派瑞林涂层后的产品具有非常好的绝缘强度和耐高低温、抗酸碱腐蚀、润滑、防尘、防潮、防锈、防水、防霉菌、防反吸、防黏附、抗老化、生物相容性等作用，

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