随着现代医疗健康领域技术的不断发展，先进的探测医疗装备所应用到的MEMS微电子领域传感系统越来越受到业界的关注，医生通过MEMS高精度柔性触力传感系统更好地为病人做医疗服务。由于MEMS集成装置上的元器件线路和元器件对于外界环境较为敏感；如何通过派瑞林镀膜技术助力提升MEMS传感器防护性能？

派瑞林薄膜特点

派瑞林薄膜具有独特的材料属性，被FDA认可为第VI类高分子医用材料，它具有更优良的生物相容性、低渗透性、化学惰性和非常低的毒性。组织培养表明：人类细胞更容易在派瑞林表面生长。

派瑞林作为医用涂层通过专业的制备涂覆于医疗器械表面，该涂层超薄敷形性好、耐腐蚀、与人体组织及血液良好相容，它不仅提供了惰性、生物相容的隔离层，还可有效的防止外界的化学品、水分和体液的侵蚀。

派瑞林在MEMS产品领域的镀膜防护应用

MEMS集成装置尤其是在生物传感器方面，已经成为心率、血压等涉及到身体健康生物信号监测的重要器件，在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器，为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。

除了医疗健康领域，MEMS柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中，可以实时检测体重、发力姿势、身体平衡性等；可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况，协助佩戴者提起重物、快速走动等；集成了柔性触力传感器的人造皮肤，可以用于义肢上，感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一，派瑞林镀膜技术更好的提升了MEMS产品的表面防护性能。

百腾Penta将会持续为大家提供覆膜技术行业资讯和相关问题解答。百腾Penta开发的PVD真空镀膜机，CVD真空镀膜机，XeF2二氟化氙蚀刻机，真空脱气炉，二氟化氙材料、派瑞林材料，提供派瑞林(parylene)纳米涂层加工。并可根据不同需求设计定制真空镀膜设备和与其配套的相关设备系统，帮助企业产品提升更好防护品质。